据邦度电力投资集团有限公司(以下简称“邦度电投”)9月10日动静,指日,邦度电 ○投所★属邦电=◁投核力创▽△芯(▽无 锡)科技有限公司(以下简 称“核力创芯”)暨邦度原子能机构=○核本领(功率芯片质子辐 照)研发中 央,达成首批氢离子注入本能优 化芯片产物客□户 交付。
邦度电投透露,这符号着我邦已整个■把握 功率半导体高能氢离子…注入▽中心本领和工艺,补全 了我○邦半导○体=家产链 中缺失的紧要一环,为半导体离子注入○开发和工艺的整○○个邦□产化奠= 定了底子。
据邦度电投先容,氢离子注入是半导体晶■圆创设中仅次于光◁刻 的=▽紧要闭头,正在集成电道、功率半导体、第三代半导○体等…众 品种型半导体产物创设◁进程中起着枢纽效…○率